影響拋光氧化鋁拋光性能的一些因素，探索了拋光工藝參數對去除量的影響,即拋光壓力、拋光時間和下盤轉速與材料去除量的關系進行了研究。
1、外加壓力對去除量的影響
拋光壓力是拋光工藝中的一個重要的參數。壓力增大時,工件所受到的切向力增大,拋光顆粒對玻璃基片碰撞加強,即機械研磨作用增強,材料去除量隨之增大。當壓力過高時拋光墊貯存拋光液的能力下降,漿料傳輸速率降低,反而使去除量降低。
2、拋光時間對去除量的影響
材料去除量隨著時間的延長而增大;在拋光前期(60min內),去除量很大,后段時間材料去除量變化趨于平緩。這是因為在拋光前期,基片表面粗糙峰較多,拋光去除的多是基片表面的粗糙峰,從而去除量大；隨著拋光時間的延長,基片表面去除量增大,其表面粗糙度減小,相應粗糙峰也減少,去除越來越慢,從而引起去除量增加也比較緩慢。
3、下盤轉速對去除量的影響
下盤轉速對材料去除量的影響與壓力對材料去除量的影響變化趨勢相近,隨著下盤轉速的提高,材料去除量先增大后減小。
