拋光氧化鋁的拋光方法優(yōu)劣決定于拋光后試樣表面的質(zhì)量。因此評(píng)價(jià)各種拋光方法必須確定比較拋光面質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)，比較*后拋光表面的反光能力是判斷拋光表面質(zhì)量的靈敏方法。這個(gè)方法是把晶體的解理表面，或在超真空下成長(zhǎng)的單晶體表面作為理想表面；把*后拋光表面測(cè)試所得的反光能力與其理想表面測(cè)試所得反光能力比較，用其平均偏差大小（△R）來表示拋光表面的質(zhì)量。△R愈大，表面反光能力愈小，質(zhì)量愈差。

各種材料用任何拋光方法所得到的表面與其理想的解理表面相比，它們的質(zhì)量都是比較低的，△R大于零。用廣泛流行的拋光技術(shù)，氧化鋁磨料拋光，拋光表面的質(zhì)量*差。而電解拋光和顯微切片機(jī)切割的試樣表面，表面質(zhì)量接近理想的解理表面。此外從圖中也可以看到，不同拋光方法的效果，因材料而異，Sb2S3材料用氧化鋁糊漿拋光與金和銅用電解拋光得到的表面質(zhì)量一樣。

試樣制備的方法不同，可使實(shí)際結(jié)果偏離理想的結(jié)果，因此，根據(jù)材料選擇拋光氧化鋁拋光方法是非常重要的。但是在解決實(shí)際檢驗(yàn)問題時(shí)，只要能滿足實(shí)際的要求，一般采用簡(jiǎn)便經(jīng)濟(jì)的方法。氧化鋁和其他氧化物廣泛應(yīng)用于拋光，就是因?yàn)檫@個(gè)原因。